中微公司CCP電容式刻蝕機已達到國際最先進技術水平7nm/5nm,在存儲器中64層3D NAND已經實現量產,128層3D NAND穩步推進引領國內大規模進口替代,ICP電感式突破至1Xnm,未來有望導入產線加大應用;同時,公司開啟平臺化發展,參股沈陽拓荊(國內PECVD、ALD龍頭)、Solayer(鍍膜設備)并擬參股上海睿勵(國內厚膜量測設備領先者),擴大業務領域,滿足國內對薄膜設備、量測設備的等巨大需求,順勢做大做強。
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