1 北方華創

北方華創科技集團股份有限公司是由七星電子和北京北方微 電子戰略重組而成。產品包括刻蝕設備、PVD設備、CVD設 備、氧化/擴散設備、清洗設備、新型顯示設備、氣體質量流 量控制器等。

 在集成電路領域，公司自主研發的14nm等離子硅刻蝕機、 單片退火系統、LPCVD已成功進入集成電路主流代工廠； 28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設備已率先進入國際供 應鏈體系；12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關；深 硅刻蝕設備也于去年一舉告捷東南亞市場。 

 2019年，公司78%的營收來自于電子工藝裝備，20%營收來 自于電子元件。公司自2015年重組以來營收持續提升。

2 中微公司

中微半導體成立于2004年。是一家以中國為基地、面向全球 的高端半導體微觀加工設備公司，為全球集成電路和LED芯 片制造商提供極具競爭力的高端設備和高質量的服務。中微 公司基于在半導體裝備產業多年耕耘積累的專業技術，涉足 半導體芯片前端制造、先進封裝、LED生產、MEMS制造以 及其他微觀制程的高端設備領域，瞄準世界科技前沿，堅持 自主創新。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國 際一線客戶從65納米到5納米工藝的眾多刻蝕應用。

 自上市以來，中微公司的業績穩步增長。2016年至2019年 營收分別為6.1億元、9.7億元、16.4億元、19.5億元。2016- 2018年公司營收增速維持在50%以上，2019年公司營收增 速接近20%。

3 華卓精科

公司主營業務為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備整機以及 關鍵部件等衍生產品的研發、生產以及銷售和技術服務。公 司是國內領先的集成電路制造裝備及其核心部件、精密/超精 密運動系統及相關技術供應商，致力于在實現超精密機械與 測控技術成果產業化的基礎上成為中國乃至全球卓越的精密 科技公司。2020年4月，華卓精科的科技公司與清華大學取 得了合作，攻克了國產光刻機研制上的一個關鍵技術-雙工 件臺，這將為國產光刻機的發展提供極大幫助，并有希望在 未來攻破7nm技術。

 公司主營業務收入主要來源于光刻機雙工件臺、超精密測控 裝備整機和超精密測控裝備部件三項業務，合計占主營業務 收入的比例分別為99.70%、95.81%和99.56%。

4 芯源微

沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年，是由中 科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業，專業 從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務，致力于為 客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

 芯源微開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕 機、單片清洗機等產品廣泛應用于半導體生產、高端封裝、 MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域�？蓾M足 300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。

 2016年公司主要營收來源于光刻工序涂膠顯影設備。近三年， 單片濕法設備在公司營收中所占的比重持續上升，2019年光 刻工序涂膠顯影設備貢獻1.12億元營收，單片濕法設備貢獻 0.95億元營收。

5 盛美半導體

 盛美半導體1998年成立于美國，2006年成立上海子公司， 開始植根內地。公司創始人、董事長兼任CEO王暉為大阪大 學半導體設備及工藝博士，國家千人專家。

 盛美半導體是全球單晶清洗設備的重要供應商，也是國內最 大的單片清洗設備供應商。公司主要從事半導體專用設備的 研發、生產和銷售。

 盛美半導體主要產品為半導體清洗設備，包括單片SAPS兆 聲波清洗設備、單片TEB0兆聲波清洗設備、單片背面清洗 設備、單片刷洗設備、槽式清洗設備和單片槽式組合清洗設 備，2019年此項營收占比84%。此外也逐漸開展半導體電鍍 設備和先進封裝濕法設備業務，產品線較為豐富，此兩項占 比有逐年升高的趨勢。

 公司總營業收入和凈利潤連續三年上升，2019年度營業收入 超過7.5億元，凈利潤超過1.3億元。

6 至純科技

至純科技創立于2000年，其業務變革經歷了五大時期，自早 期的工程分包，到2016年后的結構轉型，公司將重心轉移到 了半導體行業，并成為目標行業的領軍企業

 公司的主營業務主要包括高純工藝系統的設計、制造和安裝 調試；半導體濕法清洗設備研發、生產和銷售。此外，公司 于2018年完成對波匯科技的收購，增加了光傳感光電子業務 板塊

 公司營業收入連年增長，2019年公司營業收入為9.86億元， 較去年同期增長46.34%，主要是收購波匯科技并表其光傳 感及光器件收入，以及公司半導體設備業務板塊收入所貢獻。 凈利潤除2018年輕微下滑外，總體呈上升趨勢

7 精測電子

公司成立于2006年，創業初期定位于液晶行業檢測設備， 2008年戰略調整為面板檢測中的電信號檢測領域，2013年 公司已經成為國內面板Module段電測龍頭。之后公司又進 入AOI光學檢測系統和面板自動化設備市場，承攬平板檢 測中前段Array和Cell工序所需檢測設備。

 2018年設立全資子公司上海精測半導體，正式進軍半導體 前道檢測設備市場。以橢圓偏振技術為核心開發了適用于 半導體工業級應用的膜厚量測以及光學關鍵尺寸量測系統， 電鏡設備計劃于 2020 年投入市場。

8 華峰測控

北京華峰測控技術股份有限公司（簡稱華峰測控），作為國內最早進 入半導體測試設備行業的企業之一，公司在行業內深耕二十余年， 聚 焦于模擬和混合信號測試設備領域。

 公司憑借產品的高性能、易操作和服務優勢等特點，在模擬及數�；� 合測試設備領域打破了國外廠商的壟斷地位，在營收和品牌優勢方面 均已達到了國內領先水平。產品不但在中國境內批量銷售還外銷至中 國臺灣、美國、歐洲、韓國、日本等境外半導體產業發達地區，截至 目前，全球累計裝機量突破2,600臺。

9 萬業企業

公司成立于1991年，主營業務為房地產住宅類項目。 2018年12月收購離子注入機設備公司凱世通，積極 深化戰略轉型，切入半導體高端裝備賽道。凱世通主 營泛半導體中離子注入機及配套服務，是全球唯一一 家全領域離子注入設備公司，產品覆蓋光伏、集成電 路、AMOLED、IGBT等，目前公司在光伏離子注入 機全球市占率第一。

 目前實際控制人及第三大股東分別為上海浦東科投有 限公司和國家大基金，其中浦東科投在集成電路、醫 療健康等高科技產業有著多年的成功投資經驗，疊加 國家大基金的政策和基金支持，將有助于公司順利轉 型，未來有望成為國產離子注入設備龍頭。

10 賽騰股份

賽騰股份成立于2007年的高新技術企業，深耕智能裝 備制造行業多年，處于智能制造產業鏈下游，主要提 供自動化組裝設備、自動化檢測設備和治具類產品。 目前公司產品常應用于消費電子行業，主要客戶有蘋 果、JOT公司、廣達集團、三星電子、緯創資通、英 華達集團等。公司于2011年通過蘋果供應商認證，并 為其提供自動化設備、治具類產品及相關技術服務。

2019年募集資金收購日本Optima株式會社75%的股權， 將公司產品線向高端半導體設備領域進一步延伸。前 五大客戶銷售額占比從2014年96.3%降低至2019年的 54.9%，大大降低對重要客戶的依賴程度，主要得益于 2018、2019 年公司積極收并購，客戶基礎和業績隨之 得到擴充。

半導體設備投資地圖：四大工藝流程及國內外龍頭一文看盡